168计划网 三期内必开一期精准四肖真空系統運行中的注意事項

三期内必开一期精准四肖真空系統運行中的注意事項

   (1)在三期内必开一期精准四肖系統中⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，為了減少表面放氣㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，有時需要用液氮冷卻工作腔壁ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ。然而❣❦❧♡۵，在這一點上ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，當解釋電離規的讀數時ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，應該注意웃유ღ♋♂。即使室壁沒有被冷卻㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，低溫系統中壓力計的位置也非常重要❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣，尤其是它是否直接面對泵⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯。由于電離真空計測量氣體密度而不是壓力☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，如果真空計中的氣體溫度是T1♀☿☼☀☁☂☄，系統中的溫度是T2⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，電離真空計的壓力讀數是Pi=P(T1/T2)1/2ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，其中P是系統中的壓力ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ。

 　(2)三期内必开一期精准四肖的真空系統時⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，應特別注意❣❦❧♡۵。由于流程泵怕熱輻射⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾，當系統烘烤到450℃時⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，泵的溫度可能會上升到工作范圍之外㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂。這時可以在泵和系統之間插一個水冷擋板作為熱輻射屏蔽㈧㈨㈩⑴⑵⑶⑷⑸⑹⑺⑻⑼⑽⑾⑿⒀⒁⒂，但這樣會嚴重降低抽氣速度❣❦❧♡۵。擋板可以制成類似蝶形閥的結構ⓚⓛⓜⓝⓞⓟⓠⓡⓢ，在烘烤時旋轉到遮擋位置ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，烘烤后旋轉回來ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ。當擋板處于屏蔽位置時⒜⒝⒞⒟⒠⒡⒢⒣⒤，系統的抽氣速度降低75%ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ。

 　(3)在抽氣系統運行過程中①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，系統的操作者應保證流程泵的熱負荷在工作過程中不超過額定指標⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，并特別注意泵的初級吸附板上的熱負荷㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉。為了確保流程泵的熱負荷不超過目標(尤其是初級的熱負荷)㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，應該采用某種形式的擋板來減少撞擊初級的輻射量웃유ღ♋♂。除了真空室壁附近的300 K的輻射之外ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，初階段還接收熱輻射源⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，例如涂覆室ⓊⓋⓌⓍⓎⓏⓐⓑⓒⓓⓔⓕⓖⓗⓘⓙ、加熱燈絲或濺射放電㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉。在許多過程中⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，熱負荷可高達100至150 W①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯，這很容易超過功率為35至40 W的膨脹機的能力⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺。因此㊀㊁㊂㊃㊄㊅㊆㊇㊈㊉，需要添加某種形式的擋板來減少初級上的輻射通量☾☽❄☃。簡單的方法就是使用反射式非制冷擋板⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ。如果還不夠ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，還需要帶冷卻的人字擋板⑰⑱⑲⑳⓪⓿❶❷❸❹❺。這個擋板可以用水或液氮冷卻⓱⓲⓳⓴⓵⓶⓷⓸⓹⓺⓻⓼⓽⓾。

 　(4)流程泵在連續運行過程中☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，特別是吸附劑被氦氣飽和時㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，要特別注意防止瞬間停電☈⊙☉℃℉❅，因為即使出現短暫停電㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，氦氣也會從吸附劑中釋放出來㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，真空裝置壁上的大量熱量會傳遞到吸力面☾☽❄☃。此時✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，即使系統已經大致抽至20 Pa㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，也解決不了問題㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，因為不足以阻止持續的熱傳導♀☿☼☀☁☂☄。

      萬一短時停電⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓，也就是氦氣爆了㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦，泵就不能再工作了❣❦❧♡۵，需要再生ⓣⓤⓥⓦⓧⓨⓩ。如果停電持續很長時間✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，水蒸氣可能會從初階段釋放并沉積在二階段⒥⒦⒧⒨⒩⒪⒫⒬⒭⒮⒯⒰⒱⒲⒳⒴⒵❆❇❈❉❊†☨✞✝☥☦☓☩☯，使吸附劑飽和☈⊙☉℃℉❅，這需要徹底再生❣❦❧♡۵。

 　(5)操作中應經常檢查流程泵的過壓安全閥是否正常☧☬☸✡♁✙♆。，、＇：∶；，以防止安全閥失靈☾☽❄☃，對操作者和泵造成危害❋❀⚘☑✓✔√☐☒✗✘ㄨ✕✖✖⋆✢✣。

 　(6)不要用流程泵抽出有毒或易發生化學反應的爆炸性危險氣體❻❼❽❾❿⓫⓬⓭⓮⓯⓰。因為低溫表面可以凝結各種蒸氣ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，所以會堆積大量的沉積物①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪⑫⑬⑭⑮⑯。當泵被加熱時ⅲⅳⅴⅵⅶⅷⅸⅹⒶⒷⒸⒹ，冷凝在低溫表面上的一些沉積物可能相互反應或與大氣反應♦☜☞☝✍☚☛☟✌✽✾✿❁❃。比如硅烷和水蒸氣在77 K會發生反應✵✶✷✸✹✺✻✼❄❅，導致爆炸的危險㈠㈡㈢㈣㈤㈥㈦。如果爆炸性氣體在泵內凝結✺ϟ☇♤♧♡♢♠♣♥，當泵突然升溫⒔⒕⒖⒗⒘⒙⒚⒛ⅠⅡⅢⅣⅤⅥⅦⅧⅨⅩⅪⅫⅰⅱ，大量氣體釋放出來웃유ღ♋♂，就會流入被抽空的系統✤✥❋✦✧✩✰✪✫✬✭✮✯❂✡★✱✲✳✴，如果電離規此時正在工作ⒺⒻⒼⒽⒾⒿⓀⓁⓂⓃⓄⓅⓆⓇⓈⓉ，就會出現嚴重的問題웃유ღ♋♂。

 　(7)流程泵對所有氣體的抽氣能力并不是都一樣❣❦❧♡۵。流程泵的抽氦和抽氫的能力要比抽其它氣體的能力差得多♀☿☼☀☁☂☄，在系統的組成和操作時應考慮這一點⒃⒄⒅⒆⒇⒈⒉⒊⒋⒌⒍⒎⒏⒐⒑⒒⒓。